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產品展示
RK DZQ270-1A電子束蒸發源
  • 用途及特點
  • 規格參數
    產品特點
     
    ●RK DZQ270-1A型電子***為開放式電子***,可以和任意穴位坩堝配用;
    ●采用270度內藏式燈絲,有效避免了熔料對燈絲的污染,提高了燈絲的壽命;
    ●配有專用水冷結構對永磁體進行冷卻保護,確保束流長時間穩定工作;
    ●維護保養簡捷方便,配有更換燈絲的專用工裝。
    技術指標
     
    ●加速電壓:-6KV~-10KV
    ●******電子束流:1A
    ●******功率:10KW
    ●電子束偏轉角:270°
    ●電子束掃描范圍:15mm×15mm(X/Y)
    ●冷卻水速率:******速度8L/分(水溫在15℃~25℃,壓差不低于0.1MPa,******壓力不高于0.3MPa)
    ●氣密性:漏率不高于1.33×10-5Pa.L/S
    ●工作真空度范圍:5×10-4Pa~5×10-2Pa
    ●外形尺寸:W148×H158×Dl84(mm)
    ●重量:約10Kg

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